ណាណូ-ទីតាញ៉ូម នីទ្រីត/ណាណូ TiN 20nm 99.9%
លក្ខណៈសំខាន់ៗនៃម្សៅនីត្រាតទីតាញ៉ូមណាណូទីតាញ៉ូមល្អិតល្អន់ ដែលរៀបចំតាមរយៈដំណើរការពិសេស ភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ ការចែកចាយទំហំភាគល្អិតតូច ផ្ទៃធំ សកម្មភាពលើផ្ទៃ អាសូតសម្បូរ (> 35%) សីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ធន់នឹងអុកស៊ីតកម្ម ភាពរឹងខ្ពស់ ការស្រូបយកអ៊ីនហ្វ្រារ៉េដដ៏ល្អឥតខ្ចោះ (80%) ស្រទាប់ការពារកាំរស្មីយូវីធំជាង 85% អាចត្រូវបានអនុវត្តទៅលើថ្នាំកូតអ៊ីសូឡង់ និងភ្នាសសេរ៉ាមិចរថយន្ត អ៊ីសូឡង់កំដៅ និងឥទ្ធិពលសីតុណ្ហភាព។ សម្ភារៈនេះមានចរន្តអគ្គិសនីល្អ អាចត្រូវបានប្រើជាអេឡិចត្រូតអេឡិចត្រូលីសអំបិលរលាយ និងទំនាក់ទំនងអគ្គិសនី និងសម្ភារៈដែលដឹកនាំផ្សេងទៀត សម្រាប់សេរ៉ាមិចរឹង ក៏ដូចជាសេរ៉ាមិចរចនាសម្ព័ន្ធសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ប្រសិទ្ធភាពគឺល្អណាស់។
១. ផ្លាស្ទិចដែលលាបលើសម្ភារៈវេចខ្ចប់ក្នុងរបាំងណាណូ-ទីតាញ៉ូមនីទ្រីតដោះស្រាយលក្ខណៈលឿងនៃកម្មវិធី៖ សមាសធាតុនៃបច្ចេកវិទ្យារបាំងណាណូ-ទីតាញ៉ូម ណាណូ-ទីតាញ៉ូម និងជ័រសមាសធាតុដើម្បីបង្កើតជាសម្ភារៈសមាសធាតុ ភាគល្អិតណាណូទាំងនេះអាចរារាំងគម្លាតម៉ូលេគុល ការសាយភាយឧស្ម័នពិបាកជ្រាបចូល ដោយហេតុនេះបង្កើនលក្ខណៈសម្បត្តិរបាំងនៃជ័រ ផ្លាស្ទិច។ បានបន្ថែមចំនួនសម្ភារៈណាណូគឺតូចណាស់ សម្ភារៈនេះអាចត្រូវបានអនុវត្តដោយផ្ទាល់លើដំណើរការដែលមានស្រាប់ផ្សេងៗ ហើយមិនចាំបាច់ធ្វើបច្ចុប្បន្នភាពឧបករណ៍ទេ។ បន្ថែមសមាមាត្រមួយម៉ឺននៃ Du អាចធានាបាននូវរូបរាង polyester ថ្លា លក្ខណៈសម្បត្តិរបាំងកើនឡើងជាង ៨ ដង ដោយសារតែមាតិកាអាសូតខ្ពស់នៃទីតាញ៉ូមនីទ្រីត សារធាតុរំលាយទីតាញ៉ូមនីទ្រីតមានពណ៌ខៀវស្រាលដោយមិនបន្ថែមពណ៌គ្រឿងទេសណាមួយ អាចបិទបាំងលក្ខណៈលឿងនៃ polyester ខ្លួនវា (លឿងអចិន្ត្រៃយ៍) កាត់បន្ថយអតិថិជនឱ្យបន្ថែមសារធាតុពណ៌មួយចំនួនធំ ដើម្បីកាត់បន្ថយការចំណាយ;
2. ការប្រើប្រាស់ផ្លាស្ទិច PET៖ ម្សៅណាណូទីតាញ៉ូមនីទ្រីតតិចតួចដែលប្រើក្នុងទែម៉ូប្លាស្ទិកវិស្វកម្មដូចជា PET, PA ជាដើមអាចត្រូវបានប្រើជាភ្នាក់ងារបង្កើតស្នូលគ្រីស្តាល់ដើម្បីប្រើការដាក់ពង្រាយណាណូទីតាញ៉ូមនីទ្រីតចូលទៅក្នុងណាណូដែលបែកខ្ចាត់ខ្ចាយជាមួយអេទីឡែនគ្លីកូល ការបែកខ្ចាយនៃណាណូទីតាញ៉ូមនីទ្រីត និងផ្លាស្ទិចវិស្វកម្ម PET កាន់តែប្រសើរឡើងដោយវិធីប៉ូលីមែរអាចបង្កើនល្បឿនអត្រាគ្រីស្តាល់នៃផ្លាស្ទិច PET យ៉ាងខ្លាំងធ្វើឱ្យវាងាយស្រួលក្នុងការបង្កើតផ្សិតដើម្បីពង្រីកវិសាលភាពនៃការអនុវត្តផ្លាស្ទិចវិស្វកម្ម PET។ ក្នុងពេលជាមួយគ្នានេះ ការបែកខ្ចាយភាគល្អិតណាណូទីតាញ៉ូមនីទ្រីតមួយចំនួនធំ និង PET ត្រូវបានធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងយ៉ាងខ្លាំងនូវភាពធន់នឹងការពាក់ ភាពធន់នឹងផលប៉ះពាល់នៃផ្លាស្ទិចវិស្វកម្ម PET ដោយសារតែផលប៉ះពាល់ណាណូម៉ែត្រ។
៣. កម្មវិធីថ្នាំកូតបញ្ចេញកម្ដៅខ្ពស់៖ សម្ភារៈសំខាន់នៃថ្នាំកូតបញ្ចេញកម្ដៅខ្ពស់ដែលមានមាតិកាអាសូតខ្ពស់នៃម្សៅណាណូ-ទីន ដែលត្រូវបានប្រើនៅសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ បន្ថែមសមាសធាតុទៅក្នុងការអភិវឌ្ឍសម្ភារៈថ្នាំកូតជាមួយថ្នាំកូតដែលរៀបចំដោយការបាញ់ប្លាស្មា អត្រានៃការអនុវត្តវិទ្យុសកម្មកំដៅដែលរកឃើញត្រូវបានធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងយ៉ាងខ្លាំង ផលិតផលនេះត្រូវបានប្រើជាចម្បងនៅក្នុងឡចំហាយសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ដែលសន្សំសំចៃថាមពល និងយោធា។
៤. ការអភិវឌ្ឍសម្ភារៈផ្សារដែកគ្មានសារធាតុសំណ ការដាក់បញ្ចូលម្សៅណាណូទីតាញ៉ូមនីទ្រីតសំណប៉ាហាំង ប្រាក់ ទង់ដែង និងយ៉ាន់ស្ព័រស័ង្កសី សីតុណ្ហភាពរលាយទាបជាង ២០០អង្សាសេ ធ្វើឱ្យយ៉ាន់ស្ព័រមានឯកសណ្ឋានជាងមុន កាត់បន្ថយសីតុណ្ហភាពដំណោះស្រាយអុកស៊ីដរឹង ៣០អង្សាសេ អាចសម្រេចបានសីតុណ្ហភាពផ្សារដែកសំណប៉ាហាំង-សំណប៉ាហាំងដើម ប្រសិនបើយើងអាចកែលម្អការជ្រៀតចូលបន្ថែមទៀត ការអនុវត្តដ៏ធំបំផុតនៃការលំបាកក្នុងការដោះស្រាយផ្សារដែកគ្មានសារធាតុសំណប៉ាហាំងដែលមានស្រាប់។
៥. ការរៀបចំសម្ភារៈអេឡិចត្រូនិចបៃតងមិនអាចប្រើក្រូមីញ៉ូម និងធាតុបង្កគ្រោះថ្នាក់ផ្សេងទៀតដូចជាសំណ កាដមីញ៉ូម ដែលមានតម្លៃខ្ពស់ និងចំណងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់នៃដំណាក់កាលកញ្ចក់ ដោយគ្មានសំណ សេរ៉ាមិចកាដមីញ៉ូម ការវេចខ្ចប់ និងបញ្ហាបន្ទះកញ្ចក់គឺការសំយោគដំណាក់កាលរឹងនៃសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ចំណុចទន់ខ្ពស់ និងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ទៅជាប៉សឺឡែន អាចភ្ជាប់ជាមួយម្សៅណាណូទីតាញ៉ូមនីទ្រីតខ្នាតតូច ដែលធ្វើឱ្យសីតុណ្ហភាពប្រតិកម្មដំណាក់កាលរឹងទាបជាង 200°C ទោះបីជាទាបជាង 50°C ក៏ដោយ អាចប្រើឧបករណ៍ដំណើរការដែលមានស្រាប់ ក៏ជារបកគំហើញដ៏ធំមួយផងដែរ។ ទីតាញ៉ូមឌីអុកស៊ីត និងដំណោះស្រាយរឹងរបស់វាគឺជាសមាសធាតុនៃសម្ភារៈអេឡិចត្រូនិច ការណែនាំអំពីការផ្លាស់ប្តូរទម្រង់ណាណូអាចមានប្រយោជន៍ក្នុងការនាំមកនូវដំណើរការ; ច្បាប់បំពុលប្រូមីន (Br) 6 កំណត់ការប្រើប្រាស់ប៉ូលីមែរបេនហ្សេន ដើម្បីទប់ស្កាត់អណ្តាតភ្លើងអេឡិចត្រូនិក បំណែកប្លាស្ទិកនៃគ្រោងឆ្អឹងសំបកបង្កការលំបាកក្នុងការបន្ថែមបរិមាណតិចតួចនៃស៊ីលីកុននីទ្រីត ស៊ីលីកុនកាបូអ៊ីដ ទីតាញ៉ូមនីទ្រីត កាបូអ៊ីដទីតាញ៉ូមម្សៅណាណូ មិនត្រឹមតែបង្កើនកម្លាំងមេកានិច ការពាក់ កម្ដៅ និងលក្ខណៈសម្បត្តិផ្សេងៗទៀតប៉ុណ្ណោះទេ ដូចជាការជំនួសលក្ខណៈសម្បត្តិសម្ភារៈទប់ស្កាត់អណ្តាតភ្លើងប្រូមីន ការអនុវត្តប៉ូលីមែរសរីរាង្គគឺជាការទម្លាយដ៏សំខាន់មួយ; វិស័យកម្មវិធីផ្សេងទៀត៖ នៅក្នុងឧបករណ៍កាត់រឹងណាណូសមាសធាតុ កាបូអ៊ីដ សម្ភារៈដែលដឹកនាំដោយសេរ៉ាមិចសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ សម្ភារៈដែលធន់នឹងកម្ដៅ សម្ភារៈដែលពង្រឹងការបែកខ្ចាយ អាចត្រូវបានអនុវត្តទៅនឹងកាតាលីករអេឡិចត្រូតសម្រាប់កោសិកាឥន្ធនៈ សម្ភារៈប្រឆាំងឋិតិវន្ត និងសេរ៉ាមិចដែលដឹកនាំដោយសេរ៉ាមិច។
| ផលិតផលត្រូវបានចាត់ថ្នាក់ | ម៉ូដែល | ទំហំភាគល្អិតជាមធ្យម (nm) | ភាពបរិសុទ្ធ (%) | ផ្ទៃជាក់លាក់ (ម.ម.)២/ ក្រាម) | ដង់ស៊ីតេភាគច្រើន (ក្រាម / សង់ទីម៉ែត្រ)៣) | ពហុរូបភាព | ពណ៌ |
| ណាណូមាត្រដ្ឋាន | ទីណា-០០១ | ២០ | > 99.9 | ៦០.២ | ០.១២ | គូប | ខ្មៅ |
| អនុមីក្រូន | ទីណា-០០២ | ៧០០ | > 99.8 | ១០.០ | ២:៣០ | គូប | លឿងស្លេក |
| ប្រភេទសម្បូរអាសូត | ទីណា-០០៣ | ៧០០ | > 99.8 | ១០.៦ | ២:៣០ | គូប | លឿង |
| ១. | ណាណូ-ស៊ីលីកុន នីទ្រីត / ណាណូ Si3N4 20nm 99.9% |
| ២. | ណាណូអាលុយមីញ៉ូមនីទ្រីត / ណាណូ AlN 30nm 99.9% |
| ៣. | ណាណូ-ទីតាញ៉ូម នីទ្រីត / ណាណូ TiN 20nm 99.9% |
| ៤. | ណាណូ បូរ៉ុន នីទ្រីត / ណាណូ BN 50nm 99.9% |
| ៥. | ណាណូ-ហ្សីកូនីញ៉ូម នីទ្រីត / ណាណូ ZrN 50nm 99.9% |
| ៦. | ណាណូ វ៉ាណាដ្យូម នីទ្រីត / ណាណូ VN 40nm 99.9% |







