TMAH ìre gnìomhachais/eileagtronaigeach 25% Tetramethylammonium Hydroxide cas 75-59-2
TMAH 25% Tetramethylammonium Hydroxide cas 75-59-2
Mion-fhiosrachadh toraidh:
Ainm Bathar: TMAH 25%; Tetramethylammonium Hydroxide
Àireamh CAS: 75-59-2
Foirmle Mhóileciuil: C4H13NO
Coltas: leaghan gun dath
'S e criostal gun dath a th' ann an toiseach (anns a bheil trì/còig criostalan uisge), furasta taiseachd a ghabhail a-steach, le fàileadh ammonia sònraichte agus bunait làidir; a' gabhail a-steach carbon dà-ogsaid san adhar, a' cruthachadh carbonat, alcalan organach, le creimneachd làidir. Tha dà sheòrsa sònrachadh aig an toradh: fuasgladh uisge agus fuasgladh methanol.
'S e salann ammonium ceathrarach a th' ann an tetramethylammonium hydroxide (TMAH no TMAOH) leis an fhoirmle mhóileciuil [(CH3)4N]+[OH]-, agus 's e am ball as sìmplidh den chlas de choimeasgaidhean ammonium ceathrarach organach. Is e aon de na cleachdaidhean gnìomhachais aige airson searbhag anisotropic silicon. Tha e cuideachd air a chleachdadh mar fhuasglaiche bunaiteach ann an leasachadh photoresist searbhagach sa phròiseas photolithography. Leis gur e catalyst gluasaid ìre a th' ann, tha e gu math èifeachdach ann a bhith a' rùsgadh photoresist. Tha e cuideachd air a chleachdadh mar surfactant ann an co-chur ferrofluid, gus casg a chuir air cruinneachadh.
1) A thaobh anailis, faodar tetramethylammonium Hydroxide a chleachdadh mar reagent polaragrafach.
2) A thaobh glanadh toraidh, chaidh a chleachdadh mar alcali gun luaithre gus eileamaid meatailteach a dhrèanadh.
3) ann an gnìomhachas dealanach, gu sònraichte mar leasaiche dìon-aghaidh adhartach, gràbhadair fliuch wafer silicon agus fuasgladh fìor-ghlan airson pròiseas CMP.
4) ann an saothrachadh chuairtean amalaichte, taisbeanaidhean criostail leachtach, bùird chuairtean clò-bhuailte, comasairean, mothachairean, agus mòran phàirtean dealanach eile.
| Fiosrachadh Luingeis | Soithichean |
| Druma glan 200L | |
| Tha soithichean eile rim faighinn air iarrtas. | |
| Seòrsachadh Luingeis | |
| Ainm luingeis ceart: tetramethylammonium hydroxide | |
| Seòrsachadh cunnart: 8 | |
| Àireamh-aithneachaidh: UN1835, PGII |
| Sàbhailteachd agus Làimhseachadh | Airson fiosrachadh sònraichte mu shàbhailteachd agus làimhseachadh, thoir sùil air an |
| Duilleag-dàta sàbhailteachd stuthan a tha ri fhaighinn air iarrtas. |
| Nì | Clàr-amais |
| Coltas | Lionn gun dath |
| Deuchainn | 25.00±0.50% |
| Càsan | ≤ 50# |
| (CO32-) | ≤ 40ppm |
| (Cl) | ≤ 0.1ppm |
| (CH3OH) | ≤ 40ppm |
| (Sin) | ≤ 5ppb |
| (Sin) | ≤ 10ppb |
| (Mg) | ≤ 5ppb |
| (Al) | ≤ 10ppb |
| (C) | ≤ 10ppb |
| (Sin) | ≤ 10ppb |
| (Cr) | ≤ 5ppb |
| (Mn) | ≤ 5ppb |
| (Fe) | ≤ 5ppb |
| (Co) | ≤ 5ppb |
| (A-steach) | ≤ 5ppb |
| (Le) | ≤ 5ppb |
| (Zn) | ≤ 5ppb |
| (Airson) | ≤ 5ppb |
| (Aig) | ≤ 5ppb |
| (Cd) | ≤ 5ppb |
| (Pb) | ≤ 5ppb |
| mìrean (≥0.5μm) | ≤100 gach ml |
200kg no 25kg / druma
a, Air a stòradh ann an àite fionnar, tioram agus le deagh fhionnarachadh
b, Air falbh bho theine agus teas
c, Làimhsich gu faiceallach agus gun bhriseadh sam bith














