TMAH ថ្នាក់ឧស្សាហកម្ម/អេឡិចត្រូនិច 25% Tetramethylammonium Hydroxide cas 75-59-2
TMAH 25% Tetramethylammonium Hydroxide cas 75-59-2
ព័ត៌មានលម្អិតអំពីផលិតផល៖
ឈ្មោះផលិតផល៖ TMAH 25%; តេត្រាមេទីលអាម៉ូញ៉ូមអ៊ីដ្រូស៊ីត
លេខ CAS៖ 75-59-2
រូបមន្តម៉ូលេគុល៖ C4H13NO
រូបរាង៖ រាវគ្មានពណ៌
ដើមរបស់វាជាគ្រីស្តាល់គ្មានពណ៌ (មានទឹកគ្រីស្តាល់បី/ប្រាំ) ងាយស្រូបយកសំណើម មានក្លិនអាម៉ូញាក់ជាក់លាក់ និងបាសខ្លាំង។ ស្រូបយកកាបូនឌីអុកស៊ីតក្នុងខ្យល់ បង្កើតជាកាបូន អាល់កាឡាំងសរីរាង្គ ជាមួយនឹងលក្ខណៈច្រេះខ្លាំង។ ផលិតផលនេះមានលក្ខណៈបច្ចេកទេសពីរប្រភេទ៖ ដំណោះស្រាយទឹក និងដំណោះស្រាយមេតាណុល។
តេត្រាមេទីលអាម៉ូញ៉ូមអ៊ីដ្រូស៊ីត (TMAH ឬ TMAOH) គឺជាអំបិលអាម៉ូញ៉ូម quaternary ដែលមានរូបមន្តម៉ូលេគុល [(CH3)4N]+[OH]- ហើយវាជាសមាជិកសាមញ្ញបំផុតនៃថ្នាក់សមាសធាតុអាម៉ូញ៉ូម quaternary សរីរាង្គ។ ការប្រើប្រាស់ឧស្សាហកម្មមួយរបស់វាគឺសម្រាប់ការឆ្លាក់ស៊ីលីកុន anisotropic។ វាក៏ត្រូវបានគេប្រើជាសារធាតុរំលាយមូលដ្ឋានក្នុងការអភិវឌ្ឍ photoresist អាស៊ីតនៅក្នុងដំណើរការ photolithography។ ដោយសារតែវាជាកាតាលីករផ្ទេរដំណាក់កាល វាមានប្រសិទ្ធភាពខ្ពស់ក្នុងការដក photoresist ចេញ។ វាក៏ត្រូវបានគេប្រើជាសារធាតុ surfactant ក្នុងការសំយោគ ferrofluid ដើម្បីការពារការកកកុញ។
១) នៅក្នុងទិដ្ឋភាពនៃការវិភាគ តេត្រាមេទីលអាម៉ូញ៉ូម អ៊ីដ្រូស៊ីត អាចត្រូវបានប្រើជាសារធាតុប្រតិកម្មប៉ូឡារ៉ូក្រាហ្វិក។
២) ទាក់ទងនឹងការបន្សុទ្ធផលិតផល វាត្រូវបានគេប្រើជាអាល់កាឡាំងដែលគ្មានផេះ ដើម្បីបង្កើតជាដីល្បាប់ធាតុលោហធាតុមួយចំនួន។
៣) ក្នុងឧស្សាហកម្មអេឡិចត្រូនិច ជាពិសេសជាអ្នកអភិវឌ្ឍន៍ធន់ទ្រាំវិជ្ជមាន សារធាតុกัดกร่อนសើមស៊ីលីកុន និងដំណោះស្រាយស្អាតខ្លាំងសម្រាប់ដំណើរការ CMP។
៤) ក្នុងការផលិតសៀគ្វីរួមបញ្ចូលគ្នា អេក្រង់គ្រីស្តាល់រាវ បន្ទះសៀគ្វីបោះពុម្ព ឧបករណ៍ផ្ទុកថាមពល ឧបករណ៍ចាប់សញ្ញា និងសមាសធាតុអេឡិចត្រូនិចជាច្រើនទៀត។
| ព័ត៌មានដឹកជញ្ជូន | កុងតឺន័រ |
| ធុងស្អាត ២០០ លីត្រ | |
| កុងតឺន័រផ្សេងទៀតអាចរកបានតាមការស្នើសុំ។ | |
| ចំណាត់ថ្នាក់ដឹកជញ្ជូន | |
| ឈ្មោះដឹកជញ្ជូនត្រឹមត្រូវ៖ តេត្រាមេទីលអាម៉ូញ៉ូមអ៊ីដ្រូស៊ីត | |
| ចំណាត់ថ្នាក់គ្រោះថ្នាក់៖ ៨ | |
| លេខអត្តសញ្ញាណ៖ UN1835, PGII |
| សុវត្ថិភាព និងការដោះស្រាយ | សម្រាប់ព័ត៌មានសុវត្ថិភាព និងការគ្រប់គ្រងជាក់លាក់ សូមមើល |
| សន្លឹកទិន្នន័យសុវត្ថិភាពសម្ភារៈ ដែលអាចរកបានតាមការស្នើសុំ។ |
| វត្ថុ | លិបិក្រម |
| រូបរាង | រាវគ្មានពណ៌ |
| ការវិភាគ | ២៥.០០ ± ០.៥០% |
| ហាហ្សេន | ≤ 50# |
| (CO32-) | ≤ ៤០ ភីភីអឹម |
| (Cl) | ≤ 0.1ppm |
| (CH3OH) | ≤ ៤០ ភីភីអឹម |
| (នោះ) | ≤ 5ppb |
| (នោះ) | ≤ 10ppb |
| (មីលីក្រាម) | ≤ 5ppb |
| (អាល់) | ≤ 10ppb |
| (ក) | ≤ 10ppb |
| (នោះ) | ≤ 10ppb |
| (ក្រ) | ≤ 5ppb |
| (ម.ន.) | ≤ 5ppb |
| (ហ្វេ) | ≤ 5ppb |
| (ក្រុមហ៊ុន) | ≤ 5ppb |
| (ក្នុង) | ≤ 5ppb |
| (ជាមួយ) | ≤ 5ppb |
| (ស័ង្កសី) | ≤ 5ppb |
| (សម្រាប់) | ≤ 5ppb |
| (នៅ) | ≤ 5ppb |
| (ស៊ីឌី) | ≤ 5ppb |
| (ប) | ≤ 5ppb |
| ភាគល្អិត (≥0.5μm) | ≤100 ដុំ/មីលីលីត្រ |
200 គីឡូក្រាម ឬ 25 គីឡូក្រាម/ធុង
មួយ, រក្សាទុកក្នុងកន្លែងត្រជាក់ស្ងួត និងមានខ្យល់ចេញចូល
ខ, ឆ្ងាយពីភ្លើង និងកំដៅ
គ, ដោះស្រាយដោយប្រុងប្រយ័ត្ន និងកុំឱ្យមានការបែកបាក់














