산업/전자 등급 TMAH 25% 테트라메틸암모늄 하이드록사이드 CAS 75-59-2

간략한 설명:

화학명: 테트라메틸암모늄하이드록사이드(TMAH)

종류: 25% TMAH (용액); 99% TMAH (분말)

CAS 75-59-2

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제품 상세 정보

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제품 설명

TMAH 25% 테트라메틸암모늄 하이드록사이드 CAS 75-59-2

제품 상세 정보:

제품명: TMAH 25%; 테트라메틸암모늄하이드록사이드

CAS 번호: 75-59-2

분자식: C4H13NO

외관: 무색 액체

본래 무색 결정(결정수 3~5개 함유)이며, 수분 흡수가 용이하고 암모니아 냄새가 나며 강한 염기성을 지닙니다. 공기 중의 이산화탄소를 흡수하여 탄산염 및 유기 알칼리를 형성하며 부식성이 강합니다. 본 제품은 수용액과 메탄올 용액 두 가지 규격으로 제공됩니다.

특징

테트라메틸암모늄 하이드록사이드(TMAH 또는 TMAOH)는 분자식 [(CH3)4N]+[OH]-를 갖는 4차 암모늄염으로, 유기 4차 암모늄 화합물 중에서 가장 간단한 화합물입니다. 산업적으로는 실리콘의 비등방성 에칭에 사용됩니다. 또한, 포토리소그래피 공정에서 산성 포토레지스트 현상 시 염기성 용매로 사용됩니다. 상전이 촉매이기 때문에 포토레지스트 박리에도 매우 효과적입니다. 더불어, 페로유체 합성 시 응집 방지를 위한 계면활성제로도 사용됩니다.

애플리케이션

1) 분석 측면에서 테트라메틸암모늄하이드록사이드는 폴라로그래피 시약으로 사용될 수 있다.

2) 제품 정제 측면에서, 이는 일부 금속 원소를 침전시키는 데 사용되는 무회분 알칼리로 사용되었습니다.

3) 전자 산업, 특히 양극 저항 현상액, 실리콘 웨이퍼 습식 에칭액 및 CMP 공정용 초청정 용액으로 사용됩니다.

4) 집적 회로, 액정 디스플레이, 인쇄 회로 기판, 콘덴서, 센서 및 기타 여러 전자 부품의 제조에 사용됩니다.

배송 정보

배송 정보	컨테이너
	200리터 클린 드럼
	다른 용기는 요청 시 제공 가능합니다.
	선박 분류
	정식 운송 명칭: 테트라메틸암모늄 하이드록사이드
	위험 등급: 8
	식별번호: UN1835, PGII

안전 및 취급	구체적인 안전 및 취급 정보는 다음을 참조하십시오.
	물질안전데이터시트는 요청 시 제공 가능합니다.

사양

목	색인
모습	무색 액체
시험	25.00±0.50%
헤이즌	≤ 50#
(CO32-)	≤ 40ppm
(Cl)	≤ 0.1ppm
(CH3OH)	≤ 40ppm
(저것)	≤ 5ppb
(저것)	≤ 10ppb
(마그네슘)	≤ 5ppb
(알)	≤ 10ppb
(케이)	≤ 10ppb
(저것)	≤ 10ppb
(크레딧)	≤ 5ppb
(망간)	≤ 5ppb
(철)	≤ 5ppb
(공동)	≤ 5ppb
(안에)	≤ 5ppb
(와 함께)	≤ 5ppb
(아연)	≤ 5ppb
(을 위한)	≤ 5ppb
(에)	≤ 5ppb
(CD)	≤ 5ppb
(납)	≤ 5ppb
입자(≥0.5μm)	≤100개/ml