Industriel/elektronisk kvalitet TMAH 25% tetramethylammoniumhydroxid cas 75-59-2
TMAH 25% tetramethylammoniumhydroxid cas 75-59-2
Produktdetaljer:
Produktnavn: TMAH 25%; Tetramethylammoniumhydroxid
CAS-nr.: 75-59-2
Molekylformel: C4H13NO
Udseende: farveløs væske
Dens oprindelige form er en farveløs krystal (indeholdende tre/fem krystalvand), der let absorberer fugt, har en vis ammoniaklugt og er stærkt basisk; den absorberer kuldioxid i luften og danner karbonat, organisk alkali, med stærk korrosivitet. Produktet har to slags specifikationer: vandopløsning og metanolopløsning.
Tetramethylammoniumhydroxid (TMAH eller TMAOH) er et kvaternært ammoniumsalt med molekylformlen [(CH3)4N]+[OH]- og er det enkleste medlem af klassen af organiske kvaternære ammoniumforbindelser. En af dets industrielle anvendelser er til anisotropisk ætsning af silicium. Det bruges også som et basisk opløsningsmiddel i udviklingen af sur fotoresist i fotolitografiprocessen. Da det er en faseoverføringskatalysator, er det yderst effektivt til at strippe fotoresist. Det bruges også som et overfladeaktivt stof i syntesen af ferrofluid for at forhindre agglomerering.
1) Inden for analyse kan tetramethylammoniumhydroxid anvendes som polarografisk reagens.
2) Med hensyn til produktrensning blev det brugt som askefri alkali til at sedimentere nogle metalliske grundstoffer.
3) i elektronikindustrien, især som positiv resistorudvikler, vådætsningsmiddel til siliciumwafere og superren opløsning til CMP-processen.
4) i fremstillingen af integrerede kredsløb, flydende krystaldisplays, printkort, kondensatorer, sensorer og mange andre elektroniske komponenter.
| Forsendelsesoplysninger | Containere |
| 200L ren tromle | |
| Andre containere tilgængelige efter anmodning. | |
| Forsendelsesklassificering | |
| Korrekt forsendelsesnavn: tetramethylammoniumhydroxid | |
| Fareklassificering: 8 | |
| Identifikationsnummer: UN1835, PGII |
| Sikkerhed og håndtering | For specifikke sikkerheds- og håndteringsoplysninger henvises til |
| Sikkerhedsdatablad, som er tilgængeligt på anmodning. |
| Punkt | Indeks |
| Udseende | Farveløs væske |
| Assay | 25,00±0,50% |
| Hazen | ≤ 50# |
| (CO32-) | ≤ 40 ppm |
| (Cl) | ≤ 0,1 ppm |
| (CH3OH) | ≤ 40 ppm |
| (At) | ≤ 5 ppb |
| (At) | ≤ 10 ppb |
| (Mg) | ≤ 5 ppb |
| (Al) | ≤ 10 ppb |
| (K) | ≤ 10 ppb |
| (At) | ≤ 10 ppb |
| (Kr) | ≤ 5 ppb |
| (Mn) | ≤ 5 ppb |
| (Fe) | ≤ 5 ppb |
| (Co) | ≤ 5 ppb |
| (I) | ≤ 5 ppb |
| (Med) | ≤ 5 ppb |
| (Zn) | ≤ 5 ppb |
| (For) | ≤ 5 ppb |
| (På) | ≤ 5 ppb |
| (Cd) | ≤ 5 ppb |
| (Pb) | ≤ 5 ppb |
| partikel (≥0,5 μm) | ≤100 stk./ml |
200 kg eller 25 kg/tromle
a, Opbevares køligt, tørt og ventileret
b, Væk fra ild og varme
c, Håndter med forsigtighed og undgå brud
