Industriell/Elektroniktaugliches TMAH 25 % Tetramethylammoniumhydroxid CAS 75-59-2 (Abbildung)

Industrie-/Elektronikqualität TMAH 25% Tetramethylammoniumhydroxid CAS 75-59-2

Kurzbeschreibung:

Chemische Bezeichnung: Tetramethylammoniumhydroxid (TMAH)

Typ: 25% TMAH (Lösung); 99% TMAH (Pulver)

CAS 75-59-2

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Produktdetails

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Produktbeschreibung

TMAH 25% Tetramethylammoniumhydroxid CAS 75-59-2

Produktdetails:

Produktname: TMAH 25%; Tetramethylammoniumhydroxid

CAS-Nr.: 75-59-2

Summenformel: C4H13NO

Aussehen: farblose Flüssigkeit

Es handelt sich ursprünglich um ein farbloses Kristall (bestehend aus drei bis fünf Kristallwassermolekülen), das leicht Feuchtigkeit aufnimmt, einen gewissen Ammoniakgeruch aufweist und stark basisch ist. Es absorbiert Kohlendioxid aus der Luft und bildet dabei Carbonate und organische Alkalien mit starker Korrosivität. Das Produkt ist in zwei Varianten erhältlich: als wässrige Lösung und als methanolische Lösung.

Merkmale

Tetramethylammoniumhydroxid (TMAH oder TMAOH) ist ein quaternäres Ammoniumsalz mit der Summenformel [(CH3)4N]+[OH]- und das einfachste organische quaternäre Ammoniumsalz. Es wird unter anderem zur anisotropen Ätzung von Silizium eingesetzt. Außerdem dient es als basisches Lösungsmittel bei der Entwicklung saurer Fotolacke in der Fotolithografie. Als Phasentransferkatalysator ist es hochwirksam beim Entfernen von Fotolacken. Darüber hinaus wird es als Tensid bei der Ferrofluidsynthese verwendet, um die Agglomeration zu verhindern.

Anwendung

1) Im Hinblick auf die Analytik kann Tetramethylammoniumhydroxid als polarographisches Reagenz verwendet werden.

2) Im Hinblick auf die Produktreinigung wurde es als aschefreies Alkali zur Ausfällung einiger metallischer Elemente verwendet.

3) in der Elektronikindustrie, insbesondere als Entwickler für positive Widerstände, als Nassätzmittel für Siliziumwafer und als Super-Clean-Lösung für den CMP-Prozess.

4) bei der Herstellung von integrierten Schaltungen, Flüssigkristallanzeigen, Leiterplatten, Kondensatoren, Sensoren und vielen anderen elektronischen Bauteilen.

Versandinformationen

Versandinformationen	Container
	200-Liter-Reinigungstrommel
	Andere Behälter sind auf Anfrage erhältlich.
	Schiffsklassifizierung
	Richtige Versandbezeichnung: Tetramethylammoniumhydroxid
	Gefahrenklasse: 8
	Identifikationsnummer: UN1835, PGII

Sicherheit und Handhabung	Spezifische Sicherheits- und Handhabungshinweise finden Sie in der
	Das Sicherheitsdatenblatt ist auf Anfrage erhältlich.

Spezifikation

Artikel	Index
Aussehen	Farblose Flüssigkeit
Test	25,00±0,50%
Hazen	≤ 50#
(CO32-)	≤ 40 ppm
(Cl)	≤ 0,1 ppm
(CH3OH)	≤ 40 ppm
(Das)	≤ 5ppb
(Das)	≤ 10ppb
(Mg)	≤ 5ppb
(Al)	≤ 10ppb
(K)	≤ 10ppb
(Das)	≤ 10ppb
(Cr)	≤ 5ppb
(Mn)	≤ 5ppb
(Fe)	≤ 5ppb
(Co)	≤ 5ppb
(In)	≤ 5ppb
(Mit)	≤ 5ppb
(Zn)	≤ 5ppb
(Für)	≤ 5ppb
(Bei)	≤ 5ppb
(CD)	≤ 5ppb
(Pb)	≤ 5ppb
Partikel (≥0,5 μm)	≤100 Stück/ml