ジルコニウムシリサイド粉末 ZrSi2 CAS 12039-90-6
半導体薄膜製造用の微細セラミック粉末およびるつぼとして使用できる。
| ジルコニウムシリサイド粉末 | 98.6%以上 |
| CAS | 12039-90-6 |
| EINECS | 234-911-1 |
| 分子量 | 147.4 |
| 分子式 | Si2Zr、ZrSi2 |
| 融点 | 1790℃ |
| 密度 | 4.88g/cm3 |
| 不動産 | 灰色の粉末 |
| 溶解度 | 水、酸、アルカリ、王水に不溶。 |
| Zr | 60.8 |
| C | 0.2%未満 |
| P | 0.01%未満 |
| 鉄 | 0.2%未満 |
| S | 0.003%未満 |
| そして | 他の |
| 粒子サイズ（スクリーンメッシュ） | 325またはご要望に応じて |
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