TMAH ya pola pîşesazî/elektronîkî 25% Tetramethylammonium Hydroxide cas 75-59-2
TMAH 25% Hîdroksîda Tetrametîlammonîyûmê cas 75-59-2
Agahiyên berhemê:
Navê Berhemê: TMAH 25%; Hîdroksîda Tetrametîlammonîyûmê
Hejmara CAS: 75-59-2
Formula Molekulî: C4H13NO
Xuyang: şileya bêreng
Di destpêkê de krîstaleke bêreng e (sê/pênc avên krîstal tê de hene), şilbûnê bi hêsanî dikişîne, bêhna amonyakê ya diyarkirî û bazîtîyeke xurt heye; di hewayê de karbondîoksîtê dikişîne, karbonat, alkalîya organîk çêdike, korozyoneke xurt heye. Berhem du celeb taybetmendî hene: çareseriya avê û çareseriya metanolê.
Hîdroksîda tetrametîlammonîyûmê (TMAH an TMAOH) xwêyeke amonyûma çaremîn e ku formula wê molekulî [(CH3)4N]+[OH]- e, û endamê herî hêsan ê çîna pêkhateyên amonyûma çaremîn a organîk e. Yek ji karanînên wê yên pîşesaziyê ji bo gravkirina anîzotropîk a silîkonê ye. Ew di pêvajoya fotolîtografiyê de wekî çareserkerek bingehîn di pêşxistina fotorezîsta asîdî de jî tê bikar anîn. Ji ber ku ew katalîzatorek veguhastina qonaxê ye, di rakirina fotorezîstê de pir bi bandor e. Ew di senteza ferrofluid de wekî surfaktantek jî tê bikar anîn, da ku pêşî li kombûnê bigire.
1) Di warê analîzê de, tetrametîlammonîyûm hîdroksîd dikare wekî reaktanta polarografîk were bikar anîn.
2) Ji bo paqijkirina hilberê, ew wekî alkaliya bê ax hate bikar anîn da ku hin elementên metalîk rûn bike.
3) di pîşesaziya elektronîkî de, nemaze wekî pêşdebirê berxwedêrên erênî, etchantê şil ê waferê silicon û çareseriya pir paqij ji bo pêvajoya CMP.
4) di çêkirina çerxên yekbûyî, dîmenderên krîstala şil, panelên çerxên çapkirî, kapasîtor, sensor û gelek pêkhateyên din ên elektronîkî de.
| agahiyên danûstendinê | Konteyner |
| 200L bermîla paqij | |
| Konteynerên din li gorî daxwazê hene. | |
| Dabeşkirina Şandinê | |
| Navê şandinê yê rast: hîdroksîda tetrametîlammonîyûmê | |
| Dabeşkirina xetereyê: 8 | |
| Hejmara Nasnameyê: UN1835, PGII |
| Ewlehî û Birêvebirin | Ji bo agahdariyên taybetî yên ewlehî û bikaranînê, ji kerema xwe li |
| Pelê Daneyên Ewlehiya Materyalê ku li ser daxwazê peyda dibe. |
| Şanî | Naverok |
| Xuyabûnî | Şileya bêreng |
| Ceribandin | 25.00±0.50% |
| Hazen | ≤ 50# |
| (CO32-) | ≤ 40ppm |
| (Cl) | ≤ 0.1 ppm |
| (CH3OH) | ≤ 40ppm |
| (Va) | ≤ 5ppb |
| (Va) | ≤ 10ppb |
| (Mg) | ≤ 5ppb |
| (Al) | ≤ 10ppb |
| (K) | ≤ 10ppb |
| (Va) | ≤ 10ppb |
| (Kr) | ≤ 5ppb |
| (Mn) | ≤ 5ppb |
| (Fe) | ≤ 5ppb |
| (Ko) | ≤ 5ppb |
| (Li) | ≤ 5ppb |
| (Bi) | ≤ 5ppb |
| (Zn) | ≤ 5ppb |
| (Bo) | ≤ 5ppb |
| (Ba) | ≤ 5ppb |
| (Cd) | ≤ 5ppb |
| (Pb) | ≤ 5ppb |
| perçe (≥0.5μm) | ≤100 yek/ml |
200kg an 25kg/tembûr
a, Li cîhek sar, hişk û hewakirinê tê hilanîn
b, Ji agir û germê dûr
c, Bi baldarî û bê şikestin bigirin
