TMAH 25% Tetramethylammonium Hydroxide ຊັ້ນອຸດສາຫະກໍາ/ເອເລັກໂຕຣນິກ cas 75-59-2
TMAH 25% Tetramethylammonium Hydroxide cas 75-59-2
ລາຍລະອຽດຜະລິດຕະພັນ:
ຊື່ຜະລິດຕະພັນ: TMAH 25%; Tetramethylammonium Hydroxide
ເລກທີ CAS: 75-59-2
ສູດໂມເລກຸນ: C4H13NO
ຮູບລັກສະນະ: ແຫຼວບໍ່ມີສີ
ຕົ້ນສະບັບຂອງມັນມີລັກສະນະເປັນຜລຶກທີ່ບໍ່ມີສີ (ປະກອບດ້ວຍນໍ້າຜລຶກສາມ/ຫ້າ), ດູດຊຶມຄວາມຊຸ່ມຊື່ນໄດ້ງ່າຍ, ມີກິ່ນແອມໂມເນຍທີ່ແນ່ນອນ ແລະ ເປັນດ່າງທີ່ແຂງແຮງ; ດູດຊຶມອາຍຄາບອນໄດອອກໄຊໃນອາກາດ, ປະກອບເປັນຄາບອນເນດ, ດ່າງອິນຊີ, ມີການກັດກ່ອນທີ່ເຂັ້ມແຂງ. ຜະລິດຕະພັນມີສອງປະເພດຄື: ສານລະລາຍນໍ້າ ແລະ ສານລະລາຍເມທານອນ.
ເຕຕຣາເມທິລແອມໂມນຽມໄຮດຣອກໄຊດ໌ (TMAH ຫຼື TMAOH) ເປັນເກືອແອມໂມນຽມຄວາເຕີນາຣີທີ່ມີສູດໂມເລກຸນ [(CH3)4N]+[OH]-, ແລະເປັນສະມາຊິກທີ່ງ່າຍທີ່ສຸດຂອງກຸ່ມທາດປະສົມແອມໂມນຽມຄວາເຕີນາຣີອິນຊີ. ໜຶ່ງໃນການນຳໃຊ້ໃນອຸດສາຫະກຳຂອງມັນແມ່ນສຳລັບການແກະສະຫຼັກຊິລິໂຄນແບບແອນໄອໂຊໂທຣປິກ. ມັນຍັງຖືກໃຊ້ເປັນຕົວລະລາຍພື້ນຖານໃນການພັດທະນາໂຟໂຕຣີຊິດທີ່ເປັນກົດໃນຂະບວນການພິມດ້ວຍແສງ. ເນື່ອງຈາກມັນເປັນຕົວເລັ່ງປະຕິກິລິຍາການຖ່າຍໂອນໄລຍະ, ມັນມີປະສິດທິພາບສູງໃນການລອກໂຟໂຕຣີຊິດ. ມັນຍັງຖືກໃຊ້ເປັນສານເຄມີໃນການສັງເຄາະເຟີໂຣຟລູອິດ, ເພື່ອປ້ອງກັນການລວມຕົວກັນ.
1) ໃນດ້ານການວິເຄາະ, tetramethylammonium Hydroxide ສາມາດໃຊ້ເປັນສານປະຕິກິລິຍາໂພລາໂລແກຣມໄດ້.
2) ໃນດ້ານການກັ່ນຕອງຜະລິດຕະພັນ, ມັນຖືກນໍາໃຊ້ເປັນດ່າງທີ່ບໍ່ມີຂີ້ເທົ່າເພື່ອຕົກຕະກອນບາງອົງປະກອບໂລຫະ.
3) ໃນອຸດສາຫະກໍາເອເລັກໂຕຣນິກ, ໂດຍສະເພາະແມ່ນຜູ້ພັດທະນາຕົວຕ້ານທານໃນທາງບວກ, ສານສະກັດຊິລິໂຄນເວເຟີປຽກ ແລະ ວິທີແກ້ໄຂທີ່ສະອາດທີ່ສຸດສໍາລັບຂະບວນການ CMP.
4) ໃນການຜະລິດວົງຈອນປະສົມປະສານ, ໜ້າຈໍສະແດງຜົນຜລຶກແຫຼວ, ແຜງວົງຈອນພິມ, ຕົວເກັບປະຈຸໄຟຟ້າ, ເຊັນເຊີ ແລະ ອົງປະກອບເອເລັກໂຕຣນິກອື່ນໆອີກຫຼາຍຢ່າງ.
| ຂໍ້ມູນການຂົນສົ່ງ | ຕູ້ຄອນເທນເນີ |
| ຖັງສະອາດ 200 ລິດ | |
| ຕູ້ຄອນເທນເນີອື່ນໆມີໃຫ້ຕາມການຮ້ອງຂໍ. | |
| ການຈັດປະເພດການຂົນສົ່ງ | |
| ຊື່ການຂົນສົ່ງທີ່ຖືກຕ້ອງ: tetramethylammonium hydroxide | |
| ການຈັດປະເພດອັນຕະລາຍ: 8 | |
| ໝາຍເລກປະຈໍາຕົວ: UN1835, PGII |
| ຄວາມປອດໄພ ແລະ ການຈັດການ | ສຳລັບຂໍ້ມູນຄວາມປອດໄພ ແລະ ການຈັດການສະເພາະ ກະລຸນາອ້າງອີງເຖິງ |
| ເອກະສານຂໍ້ມູນຄວາມປອດໄພຂອງວັດສະດຸທີ່ມີໃຫ້ຕາມການຮ້ອງຂໍ. |
| ລາຍການ | ດັດຊະນີ |
| ຮູບລັກສະນະ | ແຫຼວບໍ່ມີສີ |
| ການທົດສອບ | 25.00 ± 0.50% |
| ຮາເຊນ | ≤ 50 # |
| (CO32-) | ≤ 40ppm |
| (ຄລ) | ≤ 0.1 ppm |
| (CH3OH) | ≤ 40ppm |
| (ວ່າ) | ≤ 5ppb |
| (ວ່າ) | ≤ 10ppb |
| (ມກ) | ≤ 5ppb |
| (ອລ) | ≤ 10ppb |
| (ຄ) | ≤ 10ppb |
| (ວ່າ) | ≤ 10ppb |
| (ຄຣ) | ≤ 5ppb |
| (ມນ) | ≤ 5ppb |
| (ເຟ) | ≤ 5ppb |
| (ບໍລິສັດ) | ≤ 5ppb |
| (ໃນ) | ≤ 5ppb |
| (ມີ) | ≤ 5ppb |
| (ຊນ) | ≤ 5ppb |
| (ສຳລັບ) | ≤ 5ppb |
| (ທີ່) | ≤ 5ppb |
| (ຊີດີ) | ≤ 5ppb |
| (ຜົງຟູ) | ≤ 5ppb |
| ອະນຸພາກ (≥0.5μm) | ≤100 ແຕ່ລະອັນ/ມລ |
200 ກິໂລກຣາມ ຫຼື 25 ກິໂລກຣາມ/ຖັງ
ກ, ເກັບຮັກສາໄວ້ໃນບ່ອນທີ່ເຢັນ, ແຫ້ງ ແລະ ມີລະບາຍອາກາດ
ຂ, ຫ່າງຈາກໄຟ ແລະ ຄວາມຮ້ອນ
c, ຈັດການດ້ວຍຄວາມລະມັດລະວັງແລະບໍ່ມີການແຕກຫັກ
