TMAH gred Perindustrian/Elektronik 25% Tetrametilamonium Hidroksida cas 75-59-2
TMAH 25% Tetrametilamonium Hidroksida cas 75-59-2
Butiran produk:
Nama Produk: TMAH 25%; Tetrametilamonium Hidroksida
No. CAS: 75-59-2
Formula Molekul: C4H13NO
Rupa: cecair tidak berwarna
Asalnya sebagai kristal tidak berwarna (mengandungi tiga/lima kristal air), mudah menyerap kelembapan, dengan bau ammonia tertentu dan kebesan yang kuat; menyerap karbon dioksida di udara, membentuk karbonat, alkali organik, dengan kakisan yang kuat. Produk ini mempunyai dua jenis spesifikasi: larutan air dan larutan metanol.
Tetrametilamonium hidroksida (TMAH atau TMAOH) ialah garam ammonium kuaterner dengan formula molekul [(CH3)4N]+[OH]-, dan merupakan ahli paling ringkas dalam kelas sebatian ammonium kuaterner organik. Salah satu kegunaan perindustriannya adalah untuk pengetsaan anisotropik silikon. Ia juga digunakan sebagai pelarut asas dalam pembangunan fotoresis berasid dalam proses fotolitografi. Memandangkan ia merupakan pemangkin pemindahan fasa, ia sangat berkesan dalam melucutkan fotoresis. Ia juga digunakan sebagai surfaktan dalam sintesis ferofluid, untuk mencegah aglomerasi.
1) Dalam aspek analisis, tetrametilamonium Hidroksida boleh digunakan sebagai reagen polarografi.
2) Dari segi penulenan produk, ia digunakan sebagai alkali bebas abu untuk memendapkan beberapa unsur logam.
3) dalam industri elektronik, terutamanya sebagai pembangun perintang positif, pengetsa basah wafer silikon dan larutan super bersih untuk proses CMP.
4) dalam pembuatan litar bersepadu, paparan kristal cecair, papan litar bercetak, kapasitor, sensor dan banyak komponen elektronik lain.
| Maklumat Penghantaran | Kontena |
| Dram bersih 200L | |
| Bekas lain disediakan atas permintaan. | |
| Klasifikasi Penghantaran | |
| Nama penghantaran yang betul: tetrametilamonium hidroksida | |
| Pengelasan bahaya: 8 | |
| Nombor pengenalan: UN1835, PGII |
| Keselamatan dan Pengendalian | Untuk maklumat keselamatan dan pengendalian khusus, sila rujuk |
| Helaian Data Keselamatan Bahan yang boleh didapati atas permintaan. |
| Barang | Indeks |
| Rupa | Cecair tidak berwarna |
| Ujian | 25.00±0.50% |
| Hazen | ≤ 50# |
| (CO32-) | ≤ 40ppm |
| (Cl) | ≤ 0.1ppm |
| (CH3OH) | ≤ 40ppm |
| (Itu) | ≤ 5ppb |
| (Itu) | ≤ 10ppb |
| (Mg) | ≤ 5ppb |
| (Al) | ≤ 10ppb |
| (K) | ≤ 10ppb |
| (Itu) | ≤ 10ppb |
| (Cr) | ≤ 5ppb |
| (Mn) | ≤ 5ppb |
| (Fe) | ≤ 5ppb |
| (Ko) | ≤ 5ppb |
| (Dalam) | ≤ 5ppb |
| (Dengan) | ≤ 5ppb |
| (Zn) | ≤ 5ppb |
| (Untuk) | ≤ 5ppb |
| (Pada) | ≤ 5ppb |
| (Cd) | ≤ 5ppb |
| (Pb) | ≤ 5ppb |
| zarah (≥0.5μm) | ≤100ea/ml |
200kg atau 25kg/dram
a, Disimpan di tempat yang sejuk, kering dan mempunyai pengudaraan
b, Jauh daripada api dan haba
c, Kendalikan dengan berhati-hati dan jangan rosak
